次声波检测装置及次声波检测方法

摘要

本发明涉及一种次声波检测装置，包括一激光器和一振膜单缝装置。该激光器用以产生一激光光束。该振膜单缝装置，包括两个刀片和一灵敏膜片。两个刀片设置在同一平面上并相互分离形成一单缝；其中一刀片设置在灵敏膜片的形变区域上。灵敏膜片设于次声波区域内。该激光光束通过该单缝并产生单缝衍射条纹。当有次声波使灵敏膜片产生振动而引起刀片的微振，从而改变所述单缝的缝宽，进而使所述单缝衍射条纹产生变化。本发明的次声波检测装置利用光束的单缝衍射条纹检测次声波，整体结构简单，对器件的加工精度要求不高，制作成本低且易于实现。

主权项

一种次声波检测装置，其特征在于：包括一激光器，用以产生一激光光束；及一振膜单缝装置，包括两个刀片和一灵敏膜片；所述两个刀片设置在同一平面上并相互分离形成一单缝；其中一刀片设置在所述灵敏膜片的形变区域上；所述灵敏膜片设于次声波区域内；所述激光光束通过该单缝并产生单缝衍射条纹；当有次声波使灵敏膜片产生振动而引起刀片的微振，从而改变所述单缝的缝宽，进而使所述单缝衍射条纹产生变化。