发明名称 |
电路导线结构与微机电系统 |
摘要 |
本发明涉及一种电路导线结构与微机电系统,该微机电系统包含:一个基板;位在该基板上的至少一个晶体管,该晶体管与一接触窗栓柱电性连接;至少一个微机电元件;以及一与该接触窗栓柱同位阶的最低阶区域连线,该微机电元件经由该最低阶区域连线跟该晶体管耦接。该电路导线结构包含:一个基板;位在该基板上的至少一个晶体管,该晶体管与一接触窗栓柱电性连接;以及与该接触窗栓柱同位阶且相同材料的最低阶区域连线。 |
申请公布号 |
CN101870445A |
申请公布日期 |
2010.10.27 |
申请号 |
CN200910134749.4 |
申请日期 |
2009.04.22 |
申请人 |
原相科技股份有限公司 |
发明人 |
李昇达;王传蔚;徐新惠 |
分类号 |
B81B7/02(2006.01)I;H01L27/06(2006.01)I;H01L23/482(2006.01)I;H01L23/52(2006.01)I;H01L29/06(2006.01)I;H01L23/48(2006.01)I |
主分类号 |
B81B7/02(2006.01)I |
代理机构 |
中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 |
代理人 |
陈肖梅;谢丽娜 |
主权项 |
一种微机电系统,其特征在于,包含:一个基板;位在该基板上的至少一个晶体管,该晶体管与一接触窗栓柱电性连接;至少一个微机电元件;以及一与该接触窗栓柱同位阶的最低阶区域连线,该微机电元件经由该最低阶区域连线跟该晶体管耦接。 |
地址 |
中国台湾新竹 |