发明名称 电路导线结构与微机电系统
摘要 本发明涉及一种电路导线结构与微机电系统,该微机电系统包含:一个基板;位在该基板上的至少一个晶体管,该晶体管与一接触窗栓柱电性连接;至少一个微机电元件;以及一与该接触窗栓柱同位阶的最低阶区域连线,该微机电元件经由该最低阶区域连线跟该晶体管耦接。该电路导线结构包含:一个基板;位在该基板上的至少一个晶体管,该晶体管与一接触窗栓柱电性连接;以及与该接触窗栓柱同位阶且相同材料的最低阶区域连线。
申请公布号 CN101870445A 申请公布日期 2010.10.27
申请号 CN200910134749.4 申请日期 2009.04.22
申请人 原相科技股份有限公司 发明人 李昇达;王传蔚;徐新惠
分类号 B81B7/02(2006.01)I;H01L27/06(2006.01)I;H01L23/482(2006.01)I;H01L23/52(2006.01)I;H01L29/06(2006.01)I;H01L23/48(2006.01)I 主分类号 B81B7/02(2006.01)I
代理机构 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 代理人 陈肖梅;谢丽娜
主权项 一种微机电系统,其特征在于,包含:一个基板;位在该基板上的至少一个晶体管,该晶体管与一接触窗栓柱电性连接;至少一个微机电元件;以及一与该接触窗栓柱同位阶的最低阶区域连线,该微机电元件经由该最低阶区域连线跟该晶体管耦接。
地址 中国台湾新竹