| 发明名称 | 湿法晶圆清洗方法 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种湿法晶圆清洗方法，包括如下步骤：(1)晶圆送入清洗槽；(2)舱门关闭；(3)通入热氮气，同时电机带动晶圆开始旋转，直到晶圆的温度达到指定温度；(4)药液通过喷嘴进入清洗槽进行清洗，晶圆保持旋转；(5)药液清洗完成后喷嘴喷入去离子水以置换出已使用的药液，晶圆保持旋转；(6)残留药液置换完成后通入热氮气，同时电机带动晶圆加速旋转进行甩干；(7)甩干完成，晶圆送出。该方法既可以提高药液的利用率，减少浪费，还可以缩短工艺时间，提高湿法清洗效率，实现节能减排。 | ||
| 申请公布号 | CN101869895A | 申请公布日期 | 2010.10.27 |
| 申请号 | CN200910057110.0 | 申请日期 | 2009.04.23 |
| 申请人 | 上海华虹NEC电子有限公司 | 发明人 | 陈华伦;陈雄斌;陈瑜;熊涛;罗啸 |
| 分类号 | B08B3/08(2006.01)I | 主分类号 | B08B3/08(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海浦一知识产权代理有限公司 31211 | 代理人 | 王函 |
| 主权项 | 一种湿法晶圆清洗方法，其特征在于，包括如下步骤：(1)晶圆送入清洗槽；(2)舱门关闭；(3)通入热氮气，同时电机带动晶圆开始旋转，直到晶圆的温度达到指定温度；(4)药液通过喷嘴进入清洗槽进行清洗，晶圆保持旋转；(5)药液清洗完成后喷嘴喷入去离子水以置换出已使用的药液，晶圆保持旋转；(6)残留药液置换完成后通入热氮气，同时电机带动晶圆加速旋转进行甩干；(7)甩干完成，晶圆送出。 | ||
| 地址 | 201206 上海市浦东新区川桥路1188号 | ||