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发明名称
摘要
申请公布号 JP4570352(B2) 申请公布日期 2010.10.27
申请号 JP20030417580 申请日期 2003.12.16
申请人 发明人
分类号 H01L21/3205;H01L21/8244;G11C11/412;H01L23/52;H01L27/02;H01L27/108;H01L27/11 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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