滑动载物台及XY方向可动滑动载物台

摘要

提供一种滑动载物台及XY方向可动滑动载物台，其可以降低载物台高度且紧凑化，并且传送顺利、得到高速/高精度，并可低成本地制作。挖掘平台(1)及滑动器(4)，组合向下方的平台(1)面喷出空气的滑动器(4)和具有电磁吸引力的直线马达(7、8)，上下方向的引导由空气和电磁吸引力的相斥约束，横向仅由空气的相斥约束，使引导基准面和驱动推力产生面一致且考虑了阿贝误差的位置检测装置(9)被设置在滑动载物台的部上方。

主权项

一种滑动载物台，包括：平台；铺设在上述平台上的直线马达磁铁部；2根导轨，夹着上述直线马达磁铁部而彼此平行地固定在上述平台上；滑动器，放置在上述直线马达磁铁部的上方和上述2根导轨之间的空间中，在与行进方向垂直的剖面下呈U字形；和直线马达线圈部，在上述滑动器的U字形的开口内隔着空隙与上述直线马达磁铁部相对配置，所述滑动载物台的特征在于，在构成上述滑动器的上述U字形的侧壁上设置从该侧壁向下面的上述平台直接喷出空气以及向横面喷出空气的空气喷出部，通过由从上述空气喷出部向下面喷出的空气产生的浮力、和上述直线马达磁铁部与上述直线马达线圈部间的电磁吸引力及重力，而取得平衡并浮起，由上述直线马达磁铁部及上述直线马达线圈部间的驱动力驱动。