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发明名称 Ion beams in an ion implanter
摘要
申请公布号 GB2438893(B) 申请公布日期 2010.10.27
申请号 GB20060011460 申请日期 2006.06.09
申请人 APPLIED MATERIALS, INC. 发明人 CHRISTOPER BURGESS;MARTIN KEANE
分类号 H01J37/302;H01J37/317 主分类号 H01J37/302
代理机构 代理人
主权项
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