双模式操作微机械超声换能器

摘要

cMUT的实现具有双操作模式。cMUT具有两个不同的可切换操作条件，取决于cMUT中的弹性构件是否在cMUT中的接触点上接触相对表面。两个不同的操作条件具有取决于接触的不同的频率响应。cMUT可以被配置为当cMUT在第一操作条件下时操作在传输模式以及当cMUT在第二操作条件下时操作在接收模式。双操作模式cMUT的实现特别适合于超声谐波成像，其中接收模式接收更高的谐振频率。

主权项

一种方法，用于操作cMUT，所述方法包括：提供电容式微机械超声换能器(cMUT)，所述电容式微机械超声换能器包括弹性构件，所述弹性构件用于使第一电极和第二电极能够移向彼此或从彼此移开，所述cMUT具有接触点，所述接触点在所述cMUT的第一操作条件下不连接所述弹性构件与面向所述弹性构件的相对表面，并在第二操作条件下连接所述弹性构件与面向所述弹性构件的所述相对表面，从而所述cMUT在所述第一操作条件下具有第一频率响应以及在所述第二操作条件下具有第二频率响应，所述第一频率响应和所述第二频率响应实质上彼此互不相同；配置所述cMUT，从而当所述cMUT在所述第一操作条件下时所述cMUT操作在第一操作模式下，以及当所述cMUT在所述第二操作条件下时所述cMUT操作在第二操作模式下；以及在所述第一操作条件和所述第二操作条件之间切换所述cMUT。