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发明名称
An ion beam guide tube
摘要
申请公布号
GB2440414(B)
申请公布日期
2010.10.27
申请号
GB20070011647
申请日期
2007.06.15
申请人
APPLIED MATERIALS, INC.
发明人
RICHARD DAVID GOLDBERG
分类号
H01J37/317
主分类号
H01J37/317
代理机构
代理人
主权项
地址
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