发明名称 |
Contacting multilayer piezo actuators or sensors |
摘要 |
A device, especially a piezo stack (2) has a plurality of stacked actuator or sensor layers with electrodes (5) or piezo stack (2) contacts. A flexible lead frame (1) is electrically connected to the electrodes (5).
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申请公布号 |
US7821184(B2) |
申请公布日期 |
2010.10.26 |
申请号 |
US20050720296 |
申请日期 |
2005.11.11 |
申请人 |
SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT |
发明人 |
KASPAR MICHAEL;MAGORI ERHARD;WEINKE ROBERT |
分类号 |
H01L41/047;H01L41/083 |
主分类号 |
H01L41/047 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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