发明名称 PROCEDIMIENTO PARA LIMPIAR Y CORROER UN SUSTRATO CON UNA CAPA DE OXIDO CONDUCTIVA TRANSPARENTE, Y DISPOSITIVO PARA LA PUESTA EN PRACTICA DEL PROCEDIMIENTO.
摘要 Dispositivo para el tratamiento de sustratos que presentan capas de óxido de cinc preestructuradas dispuestas sobre soportes rígidos o flexibles, con un primer medio para tratar el sustrato con un líquido corrosivo, un segundo medio para tratar el sustrato con líquido de limpieza y un medio adicional para transportar el sustrato del primero al segundo medios, así como un medio para secar el sustrato después del tratamiento de limpieza, caracterizado porque el dispositivo consiste en una instalación de circulación que presenta materiales resistentes en función del agente corrosivo seleccionado.
申请公布号 ES2347052(T3) 申请公布日期 2010.10.25
申请号 ES20050738775T 申请日期 2005.03.31
申请人 FORSCHUNGSZENTRUM JULICH GMBH 发明人 MULLER, JOACHIM;SCHOPE, GUNNAR;SIEKMANN, HILDEGARD;RECH, BERND;REPMANN, TOBIAS;APENZELLER, WOLFGANG
分类号 H01L21/00;H01L31/00;H01L31/18 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人
主权项
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