发明名称 具有条码的光罩
摘要
申请公布号 TWM391119 申请公布日期 2010.10.21
申请号 TW099210460 申请日期 2010.06.02
申请人 大宝岛光电股份有限公司 发明人 游定承
分类号 G03F1/14 主分类号 G03F1/14
代理机构 代理人
主权项 一种具有条码的光罩,包含:该光罩具有一基础层、一位于该基础层上的电路图案,以及至少一形成于该基础层之一顶面上的条码。如申请专利范围第1项所述之具有条码的光罩,其中,该光罩上的条码是利用蚀刻技术所制成。如申请专利范围第1项所述之具有条码的光罩,其中,该光罩更具有一字码。如申请专利范围第3项所述之具有条码的光罩,其中,该字码可为数字。如申请专利范围第1项所述之具有条码的光罩,其中,该条码是一金属层。如申请专利范围第3项所述之具有条码的光罩,其中,该字码是一金属层。如申请专利范围第1项所述之具有条码的光罩,其中,该光罩为玻璃材质所制成。
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