主权项 |
一种具有条码的光罩,包含:该光罩具有一基础层、一位于该基础层上的电路图案,以及至少一形成于该基础层之一顶面上的条码。如申请专利范围第1项所述之具有条码的光罩,其中,该光罩上的条码是利用蚀刻技术所制成。如申请专利范围第1项所述之具有条码的光罩,其中,该光罩更具有一字码。如申请专利范围第3项所述之具有条码的光罩,其中,该字码可为数字。如申请专利范围第1项所述之具有条码的光罩,其中,该条码是一金属层。如申请专利范围第3项所述之具有条码的光罩,其中,该字码是一金属层。如申请专利范围第1项所述之具有条码的光罩,其中,该光罩为玻璃材质所制成。 |