| 主权项 |
一种气体产生装置，是对电解槽内的电解浴进行电解后产生气体的气体产生装置，其特征为具备：可去除气体产生装置所产生之不需要成分的去除塔、和去除前述去除塔所排出之微粒的过滤器、及可调整前述电解槽内压力的压力调整阀，而前述的过滤器是插入在前述去除塔的下游，且前述压力调整阀是配置在前述过滤器的下游，前述去除塔的压力损失为0.05Mpa以下，前述去除塔内是被加热到50℃以上。一种气体产生装置，是对电解槽内的电解浴进行电解后产生气体的气体产生装置，其特征为具备：可去除气体产生装置所产生之不需要成分的去除塔、和去除前述去除塔所排出之微粒的过滤器、和可调整前述电解槽内压力的压力调整阀、及检测前述电解浴的液面高度之液面检测手段，前述过滤器是插入在前述去除塔的下游，且前述压力调整阀是配置在前述过滤器的下游，前述去除塔的压力损失为0.05Mpa以下，前述去除塔内是被加热到50℃以上。如申请专利范围第1或2项所记载的气体产生装置，其中前述的电解浴为含有氟化氢(HF)的电解浴。如申请专利范围第1或2项所记载的气体产生装置，其中前述去除塔是预先充填可去除不需要气体之粒状药剂的去除塔。如申请专利范围第1或2项所记载的气体产生装置，其中前述过滤器是由烧结金属或合金所构成并具有多孔构造或者网目构造。 |
