MICRO-METERING SYSTEM HAVING A PULSED LASER

摘要

Bekannte Mikrodosiersysteme zur Anwendung in unterschiedlichen technischen Gebieten (Drucktechnik, EUV-Erzeugung, Messtechnik, chemische/biotechnologische Analytik) erzeugen diskrete Fluidmengen bis in den Femtogrammbereich mittels Mikropumpen, Ultraschallerregern, elektromagnetischen Ventilen oder Verdrängermembranen. Alternativ werden bei dem Mikrodosiersystem nach der Erfindung minimale Gaswolken mit diskreten Mengen bis in den Piko- und Femtogrammbereich mit einer definierten Frequenz und Pulsdauer mittels eines gepulsten Lasers (11) erzeugt. Dazu ist eine mit Fluid (06) selbstbef?llende Steigkapillare (07) vorgesehen, die mit einer Düsenöffnung (09) in einen Strömungskanal (05) hineinragt. Der Fokus (13) des gepulsten Lasers (11) ist auf die Düsenöffnung (09) oder auf die Steigkapillare (07) gerichtet. Die ausgesendeten Laserpulse (12) weisen eine veränderbare Energie größer als die Verdampfungsenergie des Fluids (06) auf, sodass bei jedem Laserpuls (12) eine Gaswolke (02) in den Strömungskanal (05) (je nach Laserfokus (13) entweder durch direkte Verdampfung oder durch Druckimpuls) eingeleitet wird. Im Strömungskanal (05) strömt bevorzugt laminar geschichtete Luft. Um ein Verschmieren der Gaswolken (02) zu verhindern, kann deren Konzentration in den Niederdruckgebieten (23) einer Ultraschallwelle (22) vorgesehen sein.