发明名称 APARATO Y METODO PARA REVESTIR UN SUSTRATO.
摘要 Un aparato para revestir un substrato usando deposición física de vapor, que comprende una cámara de vacío en la que se coloca una bobina (1) para mantener una cantidad de material conductor en levitación y para calentar y evaporar ese material, usando una corriente eléctrica variable en la bobina (1), en el que se colocan medios en la bobina para aislar la bobina (1) del material levitado, y en el que los medios de aislamiento son parte de un recipiente (2) hecho de material no conductor, teniendo el recipiente (2) por lo menos una abertura (5) para guiar el material conductor evaporado hacia el substrato que se va a revestir, caracterizado porque el recipiente (2) ha sido provisto de medios (8) de calentamiento para calentar el recipiente (2).
申请公布号 ES2346902(T3) 申请公布日期 2010.10.21
申请号 ES20060724611T 申请日期 2006.04.27
申请人 CORUS TECHNOLOGY BV 发明人 SCHADE VAN WESTRUM, JOHANNES ALPHONSUS F. M.;BAPTISTE, LAURENT CHRISTOPHE BERNARD;GLEIJM, GERARDUS
分类号 C23C14/24;C23C14/22;C23C14/26 主分类号 C23C14/24
代理机构 代理人
主权项
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