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发明名称
Anlage mit einer Transportvorrichtung zur Behandlung von Substraten
摘要
申请公布号
DE502007004989(D1)
申请公布日期
2010.10.21
申请号
DE200750004989T
申请日期
2007.02.09
申请人
APPLIED MATERIALS INC.
发明人
FRITSCHE, WOLF-ECKART
分类号
C23C14/56
主分类号
C23C14/56
代理机构
代理人
主权项
地址
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