发明名称 Anlage mit einer Transportvorrichtung zur Behandlung von Substraten
摘要
申请公布号 DE502007004989(D1) 申请公布日期 2010.10.21
申请号 DE200750004989T 申请日期 2007.02.09
申请人 APPLIED MATERIALS INC. 发明人 FRITSCHE, WOLF-ECKART
分类号 C23C14/56 主分类号 C23C14/56
代理机构 代理人
主权项
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