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VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON EIN GETTERMATERIAL ENTHALTENDEN MIKROMECHANISCHEN VORRICHTUNGEN UND SO HERGESTELLTE VORRICHTUNGEN
摘要
申请公布号
DE602006016850(D1)
申请公布日期
2010.10.21
申请号
DE200660016850T
申请日期
2006.11.28
申请人
SAES GETTERS S.P.A.
发明人
RIZZI, ENEA
分类号
B81C99/00
主分类号
B81C99/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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