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发明名称 VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUM KALIBRIEREN EINES INTERFEROMETERS
摘要
申请公布号 DE60237630(D1) 申请公布日期 2010.10.21
申请号 DE2002637630 申请日期 2002.10.22
申请人 ZYGO CORP. 发明人 EVANS, CHRISTOPHER JAMES;KUECHEL, MICHAEL;ZANONI, CARL A.
分类号 G01B9/02;G01M11/00 主分类号 G01B9/02
代理机构 代理人
主权项
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