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发明名称 Plasmaätzkammer
摘要
申请公布号 DE60044958(D1) 申请公布日期 2010.10.21
申请号 DE2000644958 申请日期 2000.06.29
申请人 LAM RESEARCH CORP. 发明人 DAUGHERTY, JOHN E.;BENJAMIN, NEIL;BOGART, JEFF;VAHEDI, VAHID;COOPERBERG, DAVID;MILLER, ALAN;YAMAGUCHI, YOKO
分类号 H01J37/32;H05H1/46;H01L21/00;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/687 主分类号 H01J37/32
代理机构 代理人
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