等离子避电器插件

摘要

一种可用于室晶片处理系统的电介质避电器插件，该系统具有气体输入管线、避电器框架和晶片处理空间。该输入管线能够提供气体至该避电器框架。该避电器框架能够容置该电介质避电器插件。该电介质避电器插件包括气体入口部分、非直线通道和气体出口部分。该气体入口部分布置为从该输入管线接收气体。该非直线通道布置为将气体从该气体入口部分传输至该气体出口部分。该气体出口部分布置为将气体从该非直线通道传输至该晶片处理空间。

主权项

一种可用于室晶片处理系统的电介质避电器插件，该系统具有气体输入管线、避电器框架和晶片处理空间，该输入管线可运行以提供气体至该避电器框架，该避电器框架可运行以容置所述电介质避电器插件，所述电介质避电器插件包括：气体入口部分，布置为从该输入管线接收气体；非直线通道；以及气体出口部分，其中所述非直线通道布置为将气体从该气体入口部分传输至该气体出口部分，以及其中所述气体出口部分布置为将气体从该非直线通道传输至该晶片处理空间。