发明名称 | 镀通孔微蚀液 | ||
摘要 | 本发明公开了一种镀通孔微蚀液,按浓度计:微蚀液中包含有如下成份:Na2S2O8:70~90g/L;H2SO4:27.6g/L;CuSO4:1~20g/L;所述微蚀液的溶剂为去离子水。本发明采用H2SO4-Na2S2O8体系微蚀液,使用时不产生分解,微蚀速率较大,可达到0.7μm~0.9μm/min,而且微蚀速率较稳定,控制较方便,有效解决了微蚀稳定性和微蚀速率间的矛盾,既易于微蚀控制,又提高生产效率。 | ||
申请公布号 | CN101864570A | 申请公布日期 | 2010.10.20 |
申请号 | CN200910030626.6 | 申请日期 | 2009.04.17 |
申请人 | 江苏苏杭电子有限公司 | 发明人 | 杨雪林 |
分类号 | C23F1/16(2006.01)I | 主分类号 | C23F1/16(2006.01)I |
代理机构 | 昆山四方专利事务所 32212 | 代理人 | 盛建德 |
主权项 | 一种镀通孔微蚀液,其特征是:按浓度计:微蚀液中包含有如下成份:Na2S2O8:70~90g/L;H2SO4:27.6g/L;CuSO4:1~20g/L;所述微蚀液的溶剂为去离子水。 | ||
地址 | 215341 江苏省昆山市千灯镇千扬公路2号 |