载置台的温度控制装置、方法和程序以及处理装置

摘要

本发明提供一种载置台温度控制装置，其采用较小规模且简易的结构，能够多种多样且高精度地控制载置台的温度乃至温度分布，而且能够实现载置台的高速升降温。该载置台温度控制装置具有：载置台(12)内部的制冷剂通路、冷却单元(14)、加热单元(16)、流路切换单元(18)、配管类(26、28、30、32、58、60等)和控制器(20)。通过控制器(20)的控制，将加热单元(16)中的加热动作的开/关状态与流路切换单元(18)中的开关阀(62、64、66、68)的开/关状态进行组合，得到对载置台(12)进行温度控制的多种模式。

主权项

一种载置台温度控制装置，用于控制载置被处理体的载置台的温度，其特征在于，具有：设置在所述载置台上的具有各自独立的入口和出口的第一和第二制冷剂通路；用于向所述第一和第二制冷剂通路循环供给制冷剂，具有通过第一流路与所述第一制冷剂通路的入口连接的送出口、和通过第二流路与所述第二制冷剂通路的出口连接的返回口，使返回到所述返回口的制冷剂恢复到基准温度，并从所述送出口将其送出的制冷剂循环器；在所述第一流路的中途，使制冷剂的温度从所述基准温度上升或下降至期望的设定温度的制冷剂温度控制部；具有通过第三流路与所述第一制冷剂通路的出口连接的第一端口、通过第四流路与设置在所述第一流路的所述制冷剂温度控制部的上游侧的第一流路分支点连接的第二端口、通过第五流路与所述第二制冷剂通路的入口连接的第三端口、和通过第六流路与设置在所述第二流路上的第二流路分支点连接的第四端口，能够在所述第一、第二、第三和第四端口之间，使流路导通、隔断和改变的流路切换部；和控制所述流路切换部内的所述流路的导通、隔断或改变的流路控制部，所述流路切换部具有：连接在所述第一端口和所述第三端口之间的第一开关阀、连接在所述第一端口和所述第四端口之间的第二开关阀、连接在所述第二端口和所述第三端口之间的第三开关阀、和连接在所述第二端口和所述第四端口之间的第四开关阀，所述流路控制部控制所述第一、第二、第三和第四开关阀的开/关。