发明名称 Method and apparatus for detecting a location of a workpiece surface using a surface height focus sensor means
摘要
申请公布号 EP1972886(B1) 申请公布日期 2010.10.20
申请号 EP20080005386 申请日期 2008.03.20
申请人 MITUTOYO CORPORATION 发明人 WATSON, MATHEW DAVID
分类号 G01B11/06;G01B11/14 主分类号 G01B11/06
代理机构 代理人
主权项
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