发明名称 | 光敏性绝缘膏体组合物和相应的光敏性膜 | ||
摘要 | 一种光敏性绝缘膏体组合物,能在碱性显影剂或水中显影,可用于形成厚而仍然高度感光的膜层,从而可形成高精密度的图案。所述光敏性绝缘组合物含有一种有机组分和一种无机粉末,所述有机组分包括(A)水溶性纤维素衍生物,(B)含羟基的分子量为20000或更低的丙烯酸树脂,(C)光聚合单体,和(D)光聚合引发剂。 | ||
申请公布号 | CN1934496B | 申请公布日期 | 2010.10.20 |
申请号 | CN200580009109.0 | 申请日期 | 2005.03.14 |
申请人 | 东京应化工业株式会社 | 发明人 | 押尾公德;水泽龙马;熊泽明;节田齐;带谷洋之 |
分类号 | G03F7/004(2006.01)I | 主分类号 | G03F7/004(2006.01)I |
代理机构 | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人 | 李勇 |
主权项 | 一种光敏性绝缘膏体组合物,包含一种有机组分以及一种无机粉末,其中所述有机组分包括(A)水溶性纤维素衍生物,(B)含羟基的分子量为20000或更低的丙烯酸树脂,(C)光聚合单体,和(D)光聚合引发剂。 | ||
地址 | 日本神奈川 |