| 发明名称 | 具有波导的图像传感器及其制造方法 | ||
| 摘要 | 本发明涉及具有波导的图像传感器及其制造方法。具有波导的图像传感器包括：半导体衬底，形成有光电二极管和外围电路区域；抗反射层，形成于半导体衬底上；绝缘层，形成于抗反射层上；布线层，形成于绝缘层上并连接至半导体衬底；至少一个层间介电层，堆叠在布线层上；以及波导，通过穿过在光电二极管上形成的层间介电层和布线层连接至绝缘层。 | ||
| 申请公布号 | CN101866937A | 申请公布日期 | 2010.10.20 |
| 申请号 | CN201010152199.1 | 申请日期 | 2010.04.16 |
| 申请人 | (株)赛丽康 | 发明人 | 全寅均;吴世仲;安熙均;元俊镐 |
| 分类号 | H01L27/146(2006.01)I;H04N5/335(2006.01)I | 主分类号 | H01L27/146(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京英赛嘉华知识产权代理有限责任公司 11204 | 代理人 | 余朦;王艳春 |
| 主权项 | 一种具有波导的图像传感器，包括：半导体衬底，形成有光电二极管和外围电路区域；抗反射层，形成于所述半导体衬底上；绝缘层，形成于所述抗反射层上；布线层，形成于所述绝缘层上并连接至所述半导体衬底；至少一个层间介电层，堆叠在所述布线层上；以及波导，穿过在所述光电二极管上方形成的所述层间介电层和所述布线层连接至所述绝缘层。 | ||
| 地址 | 韩国首尔 | ||