探针卡组件及其中的探针座

摘要

本发明提供一种探针卡组件及其中的探针座，探针卡组件主要包含有本体、设置于本体部位的探针座、以及多个设置于探针座中的测试探针。所述的多个测试探针的尖端自探针座伸出，于晶片测试时用以接触一待测晶片，测试探针的另一端与本体电性连接。探针座进一步包含多个噪声消除针，各噪声消除针具有第一端与第二端，第一端电性连接至本体的接地端，而第二端于晶片测试时并不接触待测晶片，且各噪声消除针并不接触其邻近的测试探针，且各噪声消除针的外缘与其邻近的测试探针的外缘具有5～30微米的间隙。

主权项

一种探针卡组件，用于晶片测试，该探针卡组件主要包含有一本体、一设置于该本体中央部位的探针座、以及多个设置于该探针座中的测试探针，所述测试探针的尖端并自该探针座伸出，于晶片测试时用以接触一待测晶片，所述测试探针的另一端与该本体电性连接，其特征在于：该探针座进一步包含多个噪声消除针，各噪声消除针具有第一端与第二端，该第一端电性连接至该本体的接地端，该第二端于晶片测试时并不接触待测晶片，且各噪声消除针并不接触其邻近的测试探针，且各噪声消除针的外缘与其邻近的测试探针的外缘具有一间隙，该间隙介于5～30微米。