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发明名称
METHOD OF FORMING A PATTERNED MATERIAL ON A SUBSTRATE USING IONIC, ORGANIC PHOTOACID GENERATORS FOR DUV, MUV AND OPTICAL LITHOGRAPHY BASED ON PERACEPTOR-SUBSTITUTED AROMATIC ANIONS
摘要
申请公布号
EP2240829(A2)
申请公布日期
2010.10.20
申请号
EP20080870322
申请日期
2008.12.17
申请人
INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION
发明人
GLODDE, MARTIN;LIU`, SEN;POPOVA, IRENE
分类号
G03F7/004;G03F7/039
主分类号
G03F7/004
代理机构
代理人
主权项
地址
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