| 摘要 |
1. Микроэлектромеханический датчик (30), содержащий ! по меньшей мере один подвижный электрод (29), ! электродную систему (311-314), отстоящую на некоторое расстояние от указанного электрода (29) и содержащую электроды, выполненные с возможностью раздельного управления и подачи на них соответствующих сигналов (uo1, uo2, uu1, uu2), которые могут быть использованы для установления и/или изменения электростатическим способом прикладываемой силы, жесткости и коэффициента считывания резонатора, ! блок (32) выработки электродных сигналов, соединенный с электродной системой (311-314) и выполненный с возможностью подачи на него сигнала (f) приложенной силы, сигнала (Δω) жесткости и сигнала (m) коэффициента считывания, задающих установление и/или изменения прикладываемой силы, жесткости и коэффициента считывания подвижного электрода (29), которые необходимо выполнить, ! причем указанный блок (32) вырабатывает электродные сигналы (uo1, uo2, uu1, uu2) в зависимости от сигнала прикладываемой силы, сигнала жесткости и сигнала коэффициента считывания и согласовывает электродные сигналы (uo1, uo2, uu1, uu2) между собой таким образом, что прикладываемая сила, жесткость и коэффициент считывания резонатора могут быть установлены и/или изменены до конкретных требуемых значений независимо друг от друга. ! 2. Датчик по п.1, отличающийся тем, что он содержит блок переноса зарядов, регистрирующий переносы зарядов на подвижном электроде (29), и оценочный блок, определяющий мгновенное перемещение подвижного электрода (29) на основе зарегистрированного переноса заряда. ! 3. Датчик по п.2, отличающийся тем, что блок выработки электродного сигнала вырабатывает электродные сигна� |
