| 发明名称 | 离子源装卸装置 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种离子源装卸装置，用于在电弧反应室装卸离子源，包括：半圆柱形承托架，与离子源形状匹配，以承托所述离子源；卡套，设置在所述半圆柱形承托架一端，与所述电弧反应室的钢套形状匹配，用于卡合在所述钢套上，其中所述卡套具有一开口，与所述离子源形状匹配，以供所述离子源进出；以及把手，设置在所述卡套上部。利用该离子源装卸装置，可以在装卸离子源时，实现准确定位，使离子源精确的插入钢套中。在频繁的对离子注入机周期保养中，可以保证离子源的质量，同时会提高安装效率。确保维护的成功率，避免重复劳动。 | ||
| 申请公布号 | CN101866802A | 申请公布日期 | 2010.10.20 |
| 申请号 | CN200910049285.7 | 申请日期 | 2009.04.14 |
| 申请人 | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 | 发明人 | 许鹖 |
| 分类号 | H01J37/08(2006.01)I;H01J27/02(2006.01)I;H01J27/08(2006.01)I;H01J37/317(2006.01)I;H01L21/265(2006.01)I | 主分类号 | H01J37/08(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人 | 屈蘅;李时云 |
| 主权项 | 一种离子源装卸装置，用于在电弧反应室装卸离子源，其特征在于，包括：半圆柱形承托架，与离子源形状匹配，以承托所述离子源；卡套，设置在所述半圆柱形承托架一端，与所述电弧反应室的钢套形状匹配，用于卡合在所述钢套上，其中所述卡套具有一开口，与所述离子源形状匹配，以供所述离子源进出；以及把手，设置在所述卡套上部。 | ||
| 地址 | 201203 上海市张江路18号 | ||