异丙醇蒸汽进行玻璃超净清洁方法

摘要

本发明公开了一种异丙醇蒸汽进行玻璃超净清洁方法，先将放置有玻璃晶圆的料盒固定到升降台上，然后启动升降台，使其带着料盒一起下降到清洗室底部，将纯水注入清洗室内，注满为止，使升降台带着料盒以15mm/s～25mm/s的速度上升使玻璃晶圆露出纯水面，将异丙醇蒸汽以3cc/min～10cc/min的流量水平喷到玻璃晶圆表面与其表面的纯水进行置换，当玻璃晶圆有三分之二露出纯水面后，升降台以3mm/s～7mm/s的速度继续上升至全部露出纯水面，异丙醇蒸汽与玻璃晶圆上附着的纯水置换时间为4s～10s，异丙醇与附着在玻璃晶圆上的纯水置换完成后，升降台将带有玻璃晶圆的料盒送至干燥室进行加热干燥4s～10s，本发明操作方便，清洁效率高，清洁均匀又彻底，玻璃晶圆清洗干燥后表面无干燥纹。

主权项

一种异丙醇蒸汽进行玻璃超净清洁方法，其特征为：该异丙醇蒸汽进行玻璃超净清洁在工作腔内进行，工作腔包括下部的清洁室和上部的干燥室，升降台位于工作腔内，其按如下步骤进行清洁：步骤一：将玻璃晶圆放置到料盒内；步骤二：将放置有玻璃晶圆的料盒固定到升降台上；步骤三：启动升降台，使其带着料盒一起下降到清洗室底部；步骤四：打开清洗室的纯水阀和排气阀，将纯水注入清洗室内，纯水注水流量为3L/min～6L/min；步骤五：清洗室设有溢流槽，当在清洗室内的纯水注满时，多余的纯水从溢流槽排出清洗室，此时关闭纯水阀停止供给纯水；步骤六：升降台带着料盒以15mm/s～25mm/s的速度上升，使料盒内的玻璃晶圆从纯水中慢慢露出纯水面，同时打开干燥室的异丙醇喷头，将异丙醇蒸汽以3cc/min～10cc/min的流量水平喷到玻璃晶圆表面，使异丙醇蒸汽与附着在玻璃晶圆表面的纯水进行置换，当玻璃晶圆竖直方向有三分之二露出纯水面后，升降台上升速度变更为3mm/s～7mm/s继续上升直至全部露出纯水面，异丙醇蒸汽与玻璃晶圆上附着的纯水置换时间为4s～10s，异丙醇蒸汽温度高于玻璃晶圆温度5度～60度；步骤七：当异丙醇与附着在玻璃晶圆上的纯水置换完成后，升降台将带有玻璃晶圆的料盒送至干燥室，干燥室的加热灯对玻璃晶圆进行加热干燥，干燥时间为4s～10s。