| 发明名称 | 激光束加工 | ||
| 摘要 | 描述了一种用于工件(2)的激光束加工的方法，其中激光束(14)通过具有焦面的物镜(20)聚焦在具有边界面的工件(2)中或其上，以通过双光子工艺生成加工效应，以及相对于工件(2)移动焦点的位置，并且为了获得焦点的位置的参考，同样通过物镜(20)将照射调制对象的图像投射至工件(2)和焦面中，或者与其相交，并且将在边界面处出现的图像的反射成像在自动聚焦像面中，以及通过具有相机像面的相机(15)检测，其中当所述照射调制对象的图像位于所述焦面中时，所述相机像面相交于所述自动聚焦像面，或者当所述调制对象的图像相交于所述焦面时，所述相机像面位于所述自动聚焦像面中。 | ||
| 申请公布号 | CN101868320A | 申请公布日期 | 2010.10.20 |
| 申请号 | CN200880117183.8 | 申请日期 | 2008.11.20 |
| 申请人 | 卡尔蔡司公司;卡尔斯鲁厄技术研究所 | 发明人 | M·肯佩;P·卫斯特发尔;W·格劳;G·冯弗里曼 |
| 分类号 | B23K26/04(2006.01)I;G02B7/28(2006.01)I;G03F7/20(2006.01)I | 主分类号 | B23K26/04(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京市中咨律师事务所 11247 | 代理人 | 杨晓光;张静娟 |
| 主权项 | 一种用于工件(2)的激光束加工的方法，其中激光束(14)通过具有焦面的物镜(20)聚焦在具有边界面的工件(2)中或其上，以通过双光子工艺生成加工效应，以及相对于工件(2)移动焦点的位置，并且为了获得焦点的位置的参考，同样通过物镜(20)将照射调制对象投射至工件(2)和焦面中，或者与其相交，并且将在边界面处出现的投射的反射成像在自动聚焦像面中并通过具有相机像面的相机(15)检测，其中当所述照射调制对象的投射位于所述焦面中时，所述相机像面相交于所述自动聚焦像面，或者当所述调制对象的投射相交于所述焦面时，所述相机像面位于所述自动聚焦像面中。 | ||
| 地址 | 德国奥伯科亨 | ||