发明名称 熔体提拉法生长钽铌酸钾系列单晶材料的制备方法
摘要 本发明公开了熔体提拉法生长钽铌酸钾系列单晶材料的制备方法。本发明从钽铌酸钾多晶粉料的制备入手,以K2CO3、Ta2O5、Nb2O5为原料,经研磨、混匀、压制成型和烧结的过程得到KTN多晶粉料;然后将KTN多晶粉料升温至熔点附近,保温后继续升温至原料全部融化,恒温过热后降温至晶体熔点,经下种、收颈、放肩、转等颈、等颈生长过程,后将晶体提离液面,降至室温,得到KTN单晶。本发明克服高温溶剂生长KTN晶体成本高、周期长等缺点,在不使用溶剂的条件下,以熔体提拉技术为基础,合理设计晶体生长的工艺过程,实现大尺寸、高质量KTN晶体的稳定、可重复生长,缩短晶体生长的周期。
申请公布号 CN101864598A 申请公布日期 2010.10.20
申请号 CN201010216597.5 申请日期 2010.07.02
申请人 山东省科学院新材料研究所 发明人 王旭平;刘冰
分类号 C30B29/30(2006.01)I;C30B15/20(2006.01)I 主分类号 C30B29/30(2006.01)I
代理机构 济南诚智商标专利事务所有限公司 37105 代理人 王汝银
主权项 熔体提拉法生长钽铌酸钾系列单晶材料的制备方法,其特征是,包括以下步骤:(1)、将高纯K2CO3、高纯Nb2O5和高纯Ta2O5按照原料摩尔比K2CO3∶Ta2O5∶Nb2O5=1~1.05∶(1-x)∶x的比例称量后混匀,置于混料瓶研磨并混匀10小时以上;所述x为0≤x≤1;所述高纯K2CO3、高纯Nb2O5和高纯Ta2O5的纯度质量百分数都为≥99.99%;(2)将步骤(1)所得原料置于粉料成型模具,在压料机上加压至108Pa,得到柱状原料;(3)将上述柱状原料置于白金坩埚,将坩埚和原料置入马弗炉中,以100℃/h的升温速率升温至720-750℃,恒温4-6个小时使K2CO3充分分解,后继续升温至900~1100℃恒温保持24小时以上,进行固相反应,后以100℃/h的降温速率降至室温;(4)将烧结后得到的KTN多晶粉料重新置入混料瓶中重复步骤(1)-步骤(3)一次以上;(5)将步骤(4)所得KTN多晶粉料置于白金坩埚中,坩埚置于温场系统中,以100-150℃/h升温至原料全部熔化,后继续升温100℃,恒温过热3小时以上以使熔体均匀;(6)将熔体以20-30℃/h降温至熔点,开始下种收颈,收颈过程籽晶杆拉速1-1.2mm/h,晶转20转/分,收颈过程约持续3-5小时;(7)收颈完毕以5℃/h降温至全熔点以下5-10℃,开始放肩,放肩过程拉速降低至0.1-0.2mm/h,晶转随肩部扩大逐渐降低;(8)放肩完毕,以5℃/h升温至全熔点,拉速升至0.5-0.7mm/h,转入等颈生长,等颈生长过程中熔体以0.2-0.5℃/h持续降温,以保证晶体持续等颈生长;(9)晶棒生长至所需长度,快速将晶体提离液面约5-7mm,提出晶体后体系需恒温保持2h,后以20-50℃/h降温至室温,取出晶体,生长结束。
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