发明名称 ITO透明导电膜卷绕镀膜机
摘要 本实用新型涉及一种ITO透明导电膜卷绕镀膜机,包括放卷室和镀膜室,放卷室(17)和镀膜室(18)之间由隔离板(6)分隔,该隔离板(6)上设置狭缝(5)以使基膜穿越;放卷室(17)配置有预加热装置(3),用于对放卷装置(1)放卷的基膜进行预加热;镀膜室(18)配置有工艺加热系统;收卷室内设置冷却辊(11)和可见光透射监控器(12)。本实用新型的技术效果在于:预加热处理装置使基膜充分释放气体;放卷室和镀膜机之间的隔离板防止其气氛互相干扰;同时镀膜前充分地工艺加热,使ITO膜在较高的温度下沉积;所设置的监控装置,能有效地监控工艺参数和工艺过程。因此所生产的ITO膜光电性能得到改善,稳定性能明显提高。
申请公布号 CN201610446U 申请公布日期 2010.10.20
申请号 CN201029216027.9 申请日期 2010.02.02
申请人 深圳市海森应用材料有限公司 发明人 曾鸿斌
分类号 C23C14/56(2006.01)I;C23C14/08(2006.01)I 主分类号 C23C14/56(2006.01)I
代理机构 深圳市睿智专利事务所 44209 代理人 陈鸿荫;郭文姬
主权项 一种ITO透明导电膜卷绕镀膜机,包括放卷室、镀膜室、收卷室、排气系统和控制系统,其特征在于:所述放卷室(17)和镀膜室(18)之间由隔离板(6)分隔,该隔离板(6)上设置狭缝(5)以使基膜穿越;所述放卷室(17)配置有预加热装置(3),用于对放卷装置(1)放卷的基膜进行预加热;所述镀膜室(18)配置有工艺加热系统;所述收卷室内的收卷装置(13)上设置冷却辊(11)和可见光透射监控器(12)。
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