发明名称 |
ITO透明导电膜卷绕镀膜机 |
摘要 |
本实用新型涉及一种ITO透明导电膜卷绕镀膜机,包括放卷室和镀膜室,放卷室(17)和镀膜室(18)之间由隔离板(6)分隔,该隔离板(6)上设置狭缝(5)以使基膜穿越;放卷室(17)配置有预加热装置(3),用于对放卷装置(1)放卷的基膜进行预加热;镀膜室(18)配置有工艺加热系统;收卷室内设置冷却辊(11)和可见光透射监控器(12)。本实用新型的技术效果在于:预加热处理装置使基膜充分释放气体;放卷室和镀膜机之间的隔离板防止其气氛互相干扰;同时镀膜前充分地工艺加热,使ITO膜在较高的温度下沉积;所设置的监控装置,能有效地监控工艺参数和工艺过程。因此所生产的ITO膜光电性能得到改善,稳定性能明显提高。 |
申请公布号 |
CN201610446U |
申请公布日期 |
2010.10.20 |
申请号 |
CN201029216027.9 |
申请日期 |
2010.02.02 |
申请人 |
深圳市海森应用材料有限公司 |
发明人 |
曾鸿斌 |
分类号 |
C23C14/56(2006.01)I;C23C14/08(2006.01)I |
主分类号 |
C23C14/56(2006.01)I |
代理机构 |
深圳市睿智专利事务所 44209 |
代理人 |
陈鸿荫;郭文姬 |
主权项 |
一种ITO透明导电膜卷绕镀膜机,包括放卷室、镀膜室、收卷室、排气系统和控制系统,其特征在于:所述放卷室(17)和镀膜室(18)之间由隔离板(6)分隔,该隔离板(6)上设置狭缝(5)以使基膜穿越;所述放卷室(17)配置有预加热装置(3),用于对放卷装置(1)放卷的基膜进行预加热;所述镀膜室(18)配置有工艺加热系统;所述收卷室内的收卷装置(13)上设置冷却辊(11)和可见光透射监控器(12)。 |
地址 |
518108 广东省深圳市宝安区石岩径贝海森工业园 |