一种盒装硅片的取出机构

摘要

本实用新型涉及一种盒装硅片的取出机构，其采用第三伺服电机通过连接杆固定在机架上，丝杆上连接联轴器，并与第三伺服电机连接，直线导轨固定在支承座上，升降台固定在直线导轨及丝杆上，第一伺服电机固定在升降台上，转轴安装在升降台上，第一同步带轮安装在第一伺服电机的轴上，第二同步带轮安装在转轴上，同步带连接在第一同步带轮和第二同步带轮上，在传动轴一端上安装同步带轮，在传动轴另一端安装传动轮，第二输送带安装在传动轮及滚轮上。本实用新型能将盒内的硅片一片一片平稳地取出，硅片不易损坏，取片效率大大提高，其稳定性大大高于手工操作，有效保证了硅片输送的精确度，降低了人力、成本，有效保证硅片在流转中的质量。

主权项

一种盒装硅片的取出机构，其特征是：采用支承座(22)、固定座(8)分别固定在机架(24)上，第三伺服电机(27)通过连接杆(25)固定在机架(24)上，丝杆(23)与联轴器(26)连接，所述联轴器(26)连接第三伺服电机(27)，丝杆(23)通过第三轴承(28)安装在支承座(22)上，直线导轨(12)固定在支承座(22)上，在直线导轨(12)上连接升降台(3)，所述升降台(3)上固定第一伺服电机(11)及托板(9)，转轴(29)以靠第四轴承(33)安装在升降台(3)上，在转轴(29)上安装第二同步带轮(32)，第一输送带(10)安装在转轴(29)上，第一同步带轮(31)安装在第一伺服电机(11)的轴上，同步带(30)连接在第一同步带轮(31)和第二同步带轮(32)上，竖块(34)及第二伺服电机(21)固定在固定座(8)上，传动轴(15)通过第二轴承(16)、轴承座(14)、竖块(34)安装在固定座(8)上，在传动轴(15)的一端和第二伺服电机(21)的一端各安装一个第三同步带轮(20)，小型同步带(35)连接在两个第三同步带轮(20)上，在传动轴(15)另一端安装传动轮(17)，第二输送带(13)安装在传动轮(17)及滚轮(4)上，滚轮轴(7)固定在固定座(8)上，滚轮(4)通过第一轴承(5)安装在滚轮轴(7)上，挡块(6)固定在滚轮轴(7)上。