罩玻璃管内壁减反射涂层的成形工艺

摘要

本发明公开了一种罩玻璃管内壁减反射涂层的成形工艺，其包括以下步骤：清洗；烘干；抽真空；充反应气；当开始充填反应气至反应气流量达到下限流量时开启无极高频放电线圈离化反应气，电流2.3~2.7A，电压3.4~3.8kV，同时控制该线圈沿罩玻璃管轴向匀速移动，并通过透射比测量装置检测罩玻璃管的透射比，若透射比的增加达到预定值，则当前罩玻璃管增透完成；取出当前罩玻璃管，进行下一支罩玻璃管的增透。依据本发明技术方案的成形工艺，以在所获得涂层满足较高的透射率的情况下提高罩玻璃管的机械强度。

主权项

一种罩玻璃管内壁减反射涂层的成形工艺，其特征在于其包括以下步骤：1)清洗：清洗罩玻璃管内壁，表面无油污，之后再用去离子水冲洗罩玻璃管内壁；2)烘干：将罩玻璃管充分烘干；3)抽真空：将罩玻璃管连接于真空系统，并在罩玻璃管上套上无极环形高频放电线圈，该线圈通过控制装置控制以沿罩玻璃管的轴向匀速移动；之后对罩玻璃管抽真空至预定真空度；4)充反应气：向罩玻璃管的内腔(3)充填六甲基二硅氧烷和氧气，稳定流量前者为18～22sccm，后者为0.28～0.32slm；5)当开始充填反应气至反应气流量达到下限流量值时开启无极高频放电线圈离化反应气，电流2.3～2.7A，电压3.4～3.8kV，同时控制该线圈沿罩玻璃管轴向匀速移动，并通过透射比测量装置检测罩玻璃管的透射比，若透射比的增加达到预定值，则当前罩玻璃管增透完成；6)取出当前罩玻璃管，进行下一支罩玻璃管的增透。