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发明名称 Semiconductor devices including shallow inplanted regions and methods of forming the same
摘要
申请公布号 EP2117039(A3) 申请公布日期 2010.10.20
申请号 EP20090158455 申请日期 2009.04.22
申请人 CREE, INC. 发明人 SHEPPARD, SCOTT T;SMITH, R. PETER;WU, YIFENG;HEIKMAN, STEN;JACOB-MITOS, MATTHEW
分类号 H01L21/335;H01L29/778 主分类号 H01L21/335
代理机构 代理人
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