| 摘要 |
1. Способ изготовления прозрачного изделия с покрытием из оксида цинка, имеющим низкое удельное сопротивление, при осуществлении которого ! подготавливают прозрачную основу с поверхностью, на которую наносится покрытие, имеющей температуру не более 400°С, и ! подают цинксодержащеее соединение и одно или несколько кислородсодержащих соединений на указанную поверхность, причем цинксодержащее соединение и соединения, являющиеся источником кислорода, перемешивают в течение короткого промежутка времени, достаточного для образования на этой поверхности покрытия из оксида цинка при скорости осаждения по меньшей мере 5 нм/с. ! 2. Способ по п.1, в котором цинксодержащее соединение и упомянутые одно или несколько кислородсодержащих соединений перемешивают в течение менее чем 500 мс. ! 3. Способ по п.1, в котором осуществляют изготовление прозрачного изделия с содержащим легирующие примеси покрытием из оксида цинка, имеющим низкое удельное сопротивление, причем на поверхность, на которую наносится покрытие, подают цинксодержащее соединение, одно или несколько кислородсодержащих соединений и одно или несколько соединений, содержащих элемент 13 группы, причем цинксодержащее соединение, кислородсодержащие соединения и соединения, содержащие элемент 13 группы, перемешивают в течение короткого промежутка времени, достаточного для образования на этой поверхности покрытия из оксида цинка, содержащего легирующие примеси, при скорости осаждения по меньшей мере 5 нм/с. ! 4. Способ по п.1, в котором покрытие из оксида цинка образуют в процессе химического осаждения из паровой фазы. ! 5. Способ по п.4, в котором процесс химического � |
