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经营范围
发明名称
Apparatus for Depositting Chamical Vapor
摘要
申请公布号
KR100989156(B1)
申请公布日期
2010.10.20
申请号
KR20030093415
申请日期
2003.12.18
申请人
发明人
分类号
G02F1/13
主分类号
G02F1/13
代理机构
代理人
主权项
地址
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