| 发明名称 | 合成石英玻璃衬底的微处理 | ||
| 摘要 | 在通过湿法刻蚀微处理合成石英玻璃衬底的方法中，在衬底上形成硅烷或硅氮烷的有机涂层，以及在湿法刻蚀前，在有机涂层上形成光致抗蚀剂膜。 | ||
| 申请公布号 | CN101863624A | 申请公布日期 | 2010.10.20 |
| 申请号 | CN201010209818.6 | 申请日期 | 2010.04.16 |
| 申请人 | 信越化学工业株式会社 | 发明人 | 山崎裕之;竹内正树 |
| 分类号 | C03C15/00(2006.01)I;B81C1/00(2006.01)I | 主分类号 | C03C15/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人 | 任宗华 |
| 主权项 | 一种通过湿法刻蚀微处理合成石英玻璃衬底的方法，该衬底包括待刻蚀的区域和待掩模保护的区域，该方法包括以下步骤：至少在衬底的掩模保护区域形成有机涂层，以及在湿法刻蚀前，在有机涂层上形成光致抗蚀剂膜。 | ||
| 地址 | 日本东京 | ||