一种热释电薄膜材料及其制备方法

摘要

本发明提供一种热释电薄膜材料，由下至上依次包括基片、CaCu3Ti4O12薄膜和金属薄膜；所述基片使用导电材料制作，形成下电极；所述金属薄膜形成上电极。与现有技术相比，本发明的热释电薄膜材料制备工艺简单，制备成本较低，并且具有较高的热释电系数。本发明对制备的材料采用人工极化的方法，使原本不明显的热释电效应变得显著，并物理性质稳定，其电偶极矩的极化特性能够长时间保持。本发明相对其他热释电体材料，本发明热释电薄膜材料灵敏元薄，体积比热小，灵敏度高；响应速度快，达微秒级；易与半导体器件集成，提高传感器集成度；能制成焦平面热成像器件。

主权项

一种热释电薄膜材料，其特征在于，由下至上依次包括基片、CaCu3Ti4O12薄膜和金属薄膜；所述基片使用导电材料制作，形成下电极；所述金属薄膜形成上电极。