压电元件及其制造方法

摘要

本发明在石英玻璃基板或不锈钢基板上形成下部电极。在下部电极上用溅射法通过制作薄膜状氮化铝和/或氧化锌，形成压电体薄膜，使其偶极子取向度在55％以上。然后，在压电体薄膜上形成上部电极。压电元件的压电层由氮化铝和/或氧化锌构成。具有晶体结构的氮化铝或氧化锌由于其晶体结构不存在对称性，故原来就具备压电性，并且像铁电体那样不存在居里温度，即使在高温下也不产生磁位错，故直至晶体熔解或升华，都不会失去压电性。

主权项

一种压电元件，是在基板上依次层叠了第1电极层、压电层和第2电极层的压电元件，其特征在于：上述压电层由氮化铝和/或氧化锌构成，其偶极子取向度在55％以上，其中所述偶极子取向度是指，在压电层表面的极化方向上，计算出正或负的占有率高的一方的比例。