| 发明名称 | 一种风车型划片槽的旋转测试图样 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种风车型划片槽的旋转测试图样，其利用风车型划片槽曝光后，相邻曝光单元划片槽互相拼接的特点，使用一组镜像对称且互补的图像作为旋转测试图样分别放置在曝光单元的不同方向的划片槽上，通过曝光后产生的互相拼接的图像，可以直观的通过显微镜目测检查是否存在图形旋转。 | ||
| 申请公布号 | CN101866110A | 申请公布日期 | 2010.10.20 |
| 申请号 | CN200910057079.0 | 申请日期 | 2009.04.16 |
| 申请人 | 上海华虹NEC电子有限公司 | 发明人 | 王雷 |
| 分类号 | G03F7/20(2006.01)I;H01L21/66(2006.01)I | 主分类号 | G03F7/20(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海浦一知识产权代理有限公司 31211 | 代理人 | 王函 |
| 主权项 | 一种风车型划片槽的旋转测试图样，其特征是：所述旋转测试图样为两个镜像对称且互补的图像。 | ||
| 地址 | 201206 上海市浦东新区川桥路1188号 | ||