| 发明名称 |
METHODS FOR CLEANING PROCESS KITS AND CHAMBERS, AND FOR RUTHENIUM RECOVERY |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
KR20100112579(A) |
申请公布日期 |
2010.10.19 |
| 申请号 |
KR20107015752 |
申请日期 |
2008.12.18 |
| 申请人 |
APPLIED MATERIALS, INC. |
发明人 |
TAN SAMANTHA S. H.;WANG JIANQI |
| 分类号 |
H01L21/302;C23C14/04;H01L21/205 |
主分类号 |
H01L21/302 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
