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发明名称 IONIZATION GAUGE HAVING ELECTRON MULTIPLIER COLD EMISSION SOURCE
摘要
申请公布号 KR20100112136(A) 申请公布日期 2010.10.18
申请号 KR20107016098 申请日期 2008.12.17
申请人 BROOKS AUTOMATION, INC. 发明人 BRUCKER GERARDO A.
分类号 G01L21/34;G01N27/62;H01J37/05;H01J41/04 主分类号 G01L21/34
代理机构 代理人
主权项
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