发明名称 |
Fixture Drying Apparatus and Method |
摘要 |
Wafer carrier washing and drying apparatus and method, especially useful for the semiconducting industry.
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申请公布号 |
US2010258149(A1) |
申请公布日期 |
2010.10.14 |
申请号 |
US20090474237 |
申请日期 |
2009.05.28 |
申请人 |
POLY-FLOW ENGINEERING, LLC |
发明人 |
SCHNELLER CHRIS;ROBERTS SCOTT;WHITAKER KATHRYN;FERGUSON KEVIN;ISLAS STEPHEN;MOORE JOE;PUISSANT JIM |
分类号 |
B08B9/00 |
主分类号 |
B08B9/00 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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