摘要 |
Die Erfindung betrifft eine Einrichtung (1) zur aktiven mechanischen Regelung von optischen Elementen (10) zur Detektion von Röntgenstrahlung (111) für die Verwendung in adaptiven Röntgenoptiken, wobei die Einrichtung (1) enthält - eine Auflage (4) für das optische Element (10) in Verbindung mit einer Kippvorrichtung (9) zur Änderung des Einstrahlwinkels (ω) der Röntgenstrahlung (111) auf das optische Element (10), - eine Einrichtung (20) zur Einstellung von Reflexionsbedingungen und von Positionen der Auflage (4) in Verbindung mit der Kippvorrichtung (9) und - einen Detektor. Als Detektor ist eine Strommesseinrichtung (3) mit mindestens zwei Anschlüssen (6, 7) vorgesehen, die mit dem auf der Auflage (4) aufliegenden optischen Element (10) elektrisch verbindbar sind, wobei das optische Element (10) zumindest aus einer auf einem Substrat (2; 14, 15, 16; 14, 17, 15, 16) aufgebrachten, Röntgenstrahlung (112) selektiv reflektierenden Komponentenschicht (11; 12, 13; 101, 12, 13), die zumindest zwei übereinander angeordnete Nanoschichten (12, 13) unterschiedlicher Dichte enthält und in der die selektive Reflexion der Röntgenstrahlung (112) nach der Bragg-Reflexionsbedingung erfolgt, besteht und wobei das optische Element (10) voneinander beabstandete, mit elektrisch leitenden Schichten (14, 16) in Verbindung stehende Anschlüsse (6, 7), an denen die Strommesseinrichtung (3) zur Messung des zumindest von der in der selektiv reflektierenden Komponentenschicht (11; 12, ...
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