<p>Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren und eine zu dessen Durchführung geeignete Vorrichtung, insbesondere einen Plasmareaktor zur Modifizierung partikulärer und pulverförmiger Substrate im Plasma.</p>
申请公布号
WO2010081747(A9)
申请公布日期
2010.10.14
申请号
WO2010EP00292
申请日期
2010.01.19
申请人
FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FOERDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V.;ZSCHOERPER, NICOLAS, PEER;BARZ, JAKOB;VOHRER, UWE;OEHR, CHRISTIAN
发明人
ZSCHOERPER, NICOLAS, PEER;BARZ, JAKOB;VOHRER, UWE;OEHR, CHRISTIAN
