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Es wird bereitgestellt ein Verfahren zur subpixelgenauen Positionsbestimmung einer Kante einer Markerstruktur in einer eine Vielzahl von Aufnahmepixeln aufweisenden Aufnahme der Markerstruktur, bei dem a) aus den Aufnahmepixeln entlang einer Ortskoordinate ein diskretes Intensitätsprofil der Kante mit einer Vielzahl von Profilpixeln abgeleitet wird, b) eine kontinuierliche Profilfunktion der Kante als Funktion der Ortskoordinate, basierend auf den Profilpixeln, berechnet wird, c) ein Intensitätsschwellwert festgelegt wird, der die Kantenposition definiert, d) aus der Vielzahl von Profilpixeln mehrere benachbarte Profilpixel, deren Intensitätswerte in einem Bereich liegen, in dem auch der Intensitätsschwellwert liegt, als Auswertepixel ermittelt werden, e) basierend auf den Auswertepixeln ein kontinuierlicher Intensitätsverlauf als Funktion der Ortskoordinate für den Bereich berechnet wird, f) als erste Ortskoordinate die Ortskoordinate ermittelt wird, an der der Intensitätswert des kontinuierlichen Intensitätsverlaufs von Schritt e) dem Schwellwert entspricht, g) der Abstand zwischen der ersten Ortskoordinate und der Ortskoordinate des Auswertepixels von Schritt d), dessen Intensitätswert von allen Auswertepixeln am nähesten am Schwellwert liegt, ermittelt wird, h) der ermittelte Abstand mit einem vorgegebenen Maximalwert verglichen wird, und, wenn der Abstand größer als der Maximalwert ist, das Verfahren mit Schritt i) fortgesetzt wird und wenn der ...
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