基板清洗装置

摘要

本发明公开一种基板清洗装置，其适于清洗一沿着一移动方向来移动的基板。此基板清洗装置包括一毛刷轮，其沿着一旋转轴线来旋转，用以刷洗上述基板的表面，其中上述旋转轴线与上述移动方向的夹角大于0度且小于90度。基板清洗装置可增加基板的清洗效能及降低基板发生滑片的几率。

主权项

一种基板清洗装置，适于清洗一沿着一移动方向来移动的基板，该基板清洗装置包括：第一毛刷轮，沿着第一旋转轴线来旋转，用以刷洗该基板的第一表面，其中该第一旋转轴线与该移动方向的夹角大于0度且小于90度；第二毛刷轮，沿着第二旋转轴线旋转，用以清洗该基板的相对于该第一表面的第二表面，其中该第二旋转轴线与该第一旋转轴线实质上相互平行且位于同一平面上；第一角度调整器，连接于该第一毛刷轮，用以调整该第一旋转轴线与该移动方向的夹角；第二角度调整器，连接于该第二毛刷轮，用以调整该第二旋转轴线与该移动方向的夹角；第一高度调整器，连接于该第一毛刷轮，用以调整该第一毛刷轮的轴心相对于该基板的该第一表面的距离；以及第二高度调整器，连接于该第二毛刷轮，用以调整该第二毛刷轮的轴心相对于该基板的该第二表面的距离。