一种生长硅单晶的节能热场结构

摘要

本实用新型公开了一种生长硅单晶的节能热场结构，在炉膛内腔，由上到下依次设置有上保温盖、下保温盖、上保温筒、过渡盘、主保温筒、下保温筒、炉底盘及保温层，上保温盖中连接有热屏，在下保温盖、上保温筒的外侧设置有一保温层，该保温层与上保温筒对应开有通气孔；过渡盘、主保温筒、下保温筒的外侧设置有保温层，上述保温层与炉膛内壁之间保持有间隙，炉膛上设置有氩气排气口；在炉底盘上依次设置有一层保温层和护底压片，穿过保温层、炉底盘、护底压片设置有石墨电极和石墨托杆，石墨电极上安装有加热器，在石墨托杆上依次安装有隔热体、石墨埚托、石墨埚帮及石英坩埚。本实用新型的热场结构合理，热能利用率显著提高，生产成本降低。

主权项

一种生长硅单晶的节能热场结构，其特征在于：在炉膛(29)内腔，由上到下依次设置有上保温盖(1)、下保温盖(27)、上保温筒(25)、过渡盘(23)、主保温筒(21)、下保温筒(17)、炉底盘(16)及保温层D(11)，上保温盖(1)的外圆周与炉膛(29)内壁密封连接，上保温盖(1)中连接有热屏(14)，上保温盖(1)的下方连接有下保温盖(27)，在下保温盖(27)与上保温筒(25)的外侧设置有保温层A(24)，保温层A(24)与上保温筒(25)开有联通的通气孔(26)；过渡盘(23)和主保温筒(21)的外侧设置有保温层B(22)；下保温筒(17)的外侧设置有保温层C(18)，保温层A(24)、保温层B(22)、保温层C(18)与炉膛(29)内壁之间保持一定的间隙，炉膛(29)靠近下部的侧壁上设置有氩气排气口(30)，通气孔(26)用于将氩气从热屏(14)下沿处引出到氩气排气口(30)；在炉底盘(16)的上表面依次设置有保温层E(12)和护底压片(13)，穿过保温层D(11)、炉底盘(16)、保温层E(12)和护底压片(13)设置有石墨电极(15)和石墨托杆(19)，石墨电极(15)上安装有加热器(8)，在石墨托杆(19)上从下到上依次安装有隔热体(20)、石墨埚托(7)、石墨埚帮(6)及石英坩埚(5)。