激光加工装置

摘要

本发明提供一种激光加工装置，可校正每个激光头的激光的放射方向的偏差。在激光加工装置(1)中，由于利用冷却套(11)保持并冷却激光头(13)，所以可使激光头(13)稳定动作。而且在激光加工装置(1)中，在因激光头(13)的损伤等而更换激光头(13)时，即使激光(L)的放射方向发生偏差，也可利用调整部(15)调整冷却套(11)相对于光学系本体部(4)的位置和倾斜，由此可使激光(L)的放射方向与光学系本体部(4)的光轴一致。如此，根据激光加工装置(1)，可容易地校正每个激光头(13)的激光的放射方向的偏差。

主权项

一种激光加工装置，是向加工对象物照射激光，对所述加工对象物进行加工的激光加工装置，其特征在于，具有：放射激光的激光头；保持所述激光头并冷却所述激光头的冷却套；将从所述激光头放射的激光调整至规定特性的光学系本体部；和在所述激光头的光轴和所述光学系本体部的光轴上，配置在所述冷却套和所述光学系本体部之间，且被安装于所述冷却套的底壁的下面，并调整所述冷却套相对于所述光学系本体部的位置和倾斜，以使所述激光头的光轴与所述光学系本体部的光轴一致的调整部，在所述冷却套的所述底壁、所述调整部和所述光学系本体部的框体上，形成有通过激光的第1贯通孔，在所述光学系本体部的下端部，安装有物镜单元，使所述物镜单元的光轴与所述光学系本体部的光轴一致，在所述物镜单元的框体的下端，间隔设置有使用压电元件的制动器，以与所述光学系本体部的光轴一致的方式安装有加工用物镜，在所述光学系本体部的框体和所述物镜单元的框体上，形成有通过激光的第2贯通孔。